Фоторезист для сухого травления Microchem SU-8 купить по низким ценам в интернет-магазине, характеристики, описание

При реактивно-ионном травлении (РИТ) резистивные маски подвергаются бомбардировке ионами, что приводит к их существенному нагреву. Если температура фоторезиста превышает критическое значение (обычно около 120°С), то начинается его оплавление, что приводит к изменению ширины линий формируемой структуры. Кроме того, при увеличении температуры происходит сшивание полимеров, входящих в состав резиста, что ведёт к проблемам при его снятии после травления. Группа компаний Остек поставляет широкий спектр специализированных резистов для РИТ. Подобные резисты обладают повышенной температурной стабильностью, что препятствует оплавлению, также их состав оптимизирован таким образом, чтобы избежать проблем со снятием.

Основные характеристики

Резист	Толщина, мкм	Длина волны экспонирования	Проявитель	Сниматель
Позитивные фоторезисты
Allresist AR-P 3200	5-10	i-, g-линии; broadband	AR 300-26, AR 300-35	AR 300-76,AR 600-71
Allresist AR-P 3500 /3500T	1,4-2,0	i-, g-линии; broadband	AR 300-26, T: AR 300-44	AR 300-76
AZ MiR 701	1-1,5	i и g линии	AZ 726 MIF, AZ 351B и др.	Cтанд. сниматели
AZ 6600	1-5	320 — 440 нм	Растворы TMAH, KOH и т.п.	AZ 100 Remover и др.
Microresist Technology Technology ma-P 1200	0,5-8	i,h,g линии	воднощелочные растворы	Cтанд. сниматели
Dow MEGAPOSIT SPR 220	1,2-7	i-, g-линии; broadband	MF-20A, MF-CD-26	Cтанд. сниматели
Dow MEGAPOSIT SPR 350	0,8-1,3	i-, g-линии; broadband	MF-20A, MF-CD-26	Cтанд. сниматели
Dow MEGAPOSIT SPR 700	1,0-1,8	i-, g-линии; broadband	MF-20A, MF-CD-26	Cтанд. сниматели
Обращаемые фоторезисты
Microchemicals TI 35 ES	3-5	i,h,g линии	AZ 826 MIF, AZ 400K	AZ 100 Remover
Негативные фоторезисты
Allresist AR-N 4400 (CAR44)	5-10	i-, g-линии; broadband	AR 300-47	AR 600-71,AR 600-70
Microchem SU-8	0,5-150	350-400 нм	SU-8 developer	Remover PG
Microchem KMPR 1000	8-100	350-400 нм	TMAH, SU-8 developer и др.	Remover PG
Microresist Technology ma-N 400	5-8	300 — 380 нм	воднощелочные растворы	Cтанд. сниматели
Microresist Technology ma-N 1400	0,5-3	300 — 410 нм	воднощелочные растворы	Cтанд. сниматели

Условия поставки

Резисты для сухого травления поставляются под заказ

Упаковка

Фоторезисты упакованы в бутылки и банки различного объёма

Хранение и транспортировка

Срок годности и условия хранения резистов для сухого травления указаны в техническом описании на данные продукты. Заморозка резистов недопустима.

Наименование	Цена	Кол-во	Стоимость	Удалить
Ваша корзина пока пуста. Вы можете добавить в нее товар, кликнув по иконке "Купить" возле каждого товара. Чтобы добавить еще единицу товара, кликните по иконке повторно либо перейдите в корзину и отредактируйте количество товара.