JEM-2800 – это высокопроизводительный аналитический ПЭМ с автоматизированным управлением, которое делает его идеальным прибором для контроля различных стадий технологического процесса и качества выпускаемых изделий в полупроводниковой промышленности, также для материаловедческих целей. Этот универсальный ПЭМ получает микрофотографии в режимах просвечивающего, растрового просвечивающего и растрового микроскопов, проводит высокочувствительный элементный анализ при помощи широкоуглового энергодисперсионного спектрометра (ЭДС) и химический анализ с использованием спектрометра характеристических потерь энергии электронов, позволяет оценивать размеры компонент, проводить томографию и «in situ»-наблюдения за образцами. JEM-2800 полностью удовлетворяет требованиям для работы в чистых помещениях.
Автоматизированный и дружественный по отношению к пользователю
Система управления JEM-2800 включает в себя множество автоматических функций, среди которых фокусировка, коррекция астигматизма, установка уровней контраста и яркости, позиционирование кристалла по оси, установка образца по высоте. Переключение между режимами работы микроскопа происходит очень легко, сбор экспериментальных данных также происходит быстро, и время, необходимое для исследования каждого образца существенно сокращается.
Интуитивно понятная экранная система подсказок делает JEM-2800 дружественным по отношению к пользователю просвечивающим электронным микроскопом для оператора любой квалификации.
Быстрый сбор данных
JEM-2800 одновременно сочетает в себе два таких полезных качества, как высокое разрешение при регистрации изображений наноструктур и высокую скорость анализа. Это стало возможным благодаря обширному набору предварительных настроек электронно-оптической колонны, обеспечивающему оптимальные режимы работы для работы с образцами любого типа и для проведения всех типов анализа. Это положительно влияет на скорость сбора и достоверность получаемых данных.
| РАЗРЕШЕНИЕ | ||
| В режиме РЭМ | ?0,5 нм (при ускоряющем напряжении 200 кВ) | |
| В режиме РПЭМ | 0,2 нм (при ускоряющем напряжении 200 кВ) | |
| В режиме ПЭМ (по решетке) | 0,1 нм (при ускоряющем напряжении 200 кВ) | |
| УВЕЛИЧЕНИЕ (при использовании 24-дюймового дисплея) | ||
| РЭМ (MAG) | от 100 до 150,000,000 крат | |
| ПРЭМ (MAG) | от 100 до 150,000,000 крат | |
| ПЭМ (MAG) | от 500 до 20,000,000 крат | |
| ИСТОЧНИК ЭЛЕКТРОНОВ | ||
| Тип эмиттера | Термополевой эмиттер Шоттки | |
| Ускоряющее напряжение | 100 кВ – 200 кВ | |
| СТОЛИК ОБРАЗЦОВ | ||
| Тип столика | Эвцентрический с боковым вводом образца, с пьезоподвижкой | |
| Диаметр образца | 3 мм | |
| Углы наклона | X: ±25° Y: ±30° (при использовании держателя с двойным наклоном) | |
| Диапазоны перемещений | X, Y: ±1,0 мм; Z: ±0,2 мм | |
| УСТАНАВЛИВАЕМЫЕ ПРИСТАВКИ | ||
| Цифровая ПЗС-камера | Энергодисперсионный спектрометр | Спектрометр характеристических потерь энергии электронов |
