Материалы компании AZ представлены широкой номенклатурой фоторезистов и химии для литографии. AZ производит позитивные и негативные фоторезисты для процессов жидкостного и сухого травления, а также гальванического осаждения. Также доступны резисты для получения высокого разрешения и процессов обратной (взрывной) фотолитографии. Возможные варианты нанесения: центрифугирование, окунание, спрей.
Фоторезисты серии AZ 9200 предназначены для получения высокого разрешения на плёнках большой толщины с аспектным соотношением 5 – 7.
- Тон: позитивный.
- Толщина плёнки: 5 – 20 мкм.
- Экспонирование: 320 – 440 нм.
- Проявление: AZ 400 K или AZ 300 MIF.
- Удаление: AZ 400T и AZ 300T.
- Техническое описание: AZ 9260.pdf.
-
Условия поставки
Поставка под заказ. Срок поставки от 6 недель.
Упаковка, хранение и транспортировка
Хранить в упаковке от производителя в плотно закрытом контейнере вдали от солнечных лучей и источников УФ излучения при температуре, указанной на упаковке. Минимальный срок годности составляет 3 месяца. Большинство фоторезистов хранятся в течение 6 месяцев. Упаковку открывать строго в жёлтом свете.
Доступные типы упаковок: 1-, 4-, 5- и 200-литровые контейнеры.