В данном разделе приведены резисты, используемые в самых разнообразных технологиях, но отличные от стандартных резистов либо по способу нанесения, либо по диапазону толщин.
Основные характеристики
|
Применение |
Резист |
Толщина, мкм |
Тональность |
Длина волны экспонирования |
Проявитель |
Сниматель |
|
|
Нанесение распылением |
1-20 |
обращаемый |
i,h,g линии |
AZ 826 MIF, AZ 400K |
AZ 100 Remover |
||
|
0,5-10 |
позитивный |
i,h,g линии |
AR 300-44 |
AR 300-76,AR 300-73 |
|||
|
0,5-10 |
негативный |
i,h,g линии |
AR 300-44 |
AR 300-76,AR 300-73 |
|||
|
Нанесение окунанием |
1-10 |
обращаемый |
310 — 440 нм |
AZ 400K, AZ 826MIF и др. |
Станд. сниматели |
||
|
Получение диэлектрических защитных или переходных слоёв
|
2-20 |
негативный |
i, g линии |
DS3000, DS2100 |
Prime Stripper A |
||
|
8-16 |
негативный |
broadband |
CD-26 Developer |
Станд. сниматели |
|||
|
Толстоплёночные позитивные резисты |
2,5-15 |
позитивный |
320-440 нм |
TMAH, KOH и т.п |
AZ 100 Remover |
|
|
|
15-150 |
позитивный |
i, g, h линии |
AZ 300 MIF |
Станд. сниматели |
|
||
|
5-20 |
позитивный |
320-440 нм |
AZ 400 K, AZ 300 MIF |
AZ 400T, AZ 300T |
Условия поставки
Резисты для специального применения поставляются под заказ
Упаковка
Фоторезисты упакованы в бутылки и банки различного объёма.
Хранение и транспортировка
Срок годности и условия хранения резистов для специального применения указаны в техническом описании на данные продукты. Заморозка материалов недопустима (за исключением Dow Cyclotene).
