Несмотря на широкое применение в микроэлектронике процессов сухого реактивно-ионного травления, во многих случаях использование жидкостного травления остаётся предпочтительным. С уменьшением топологических норм и увеличением количества слоёв на пластине, возрастают требования, предъявляемые к реагентам, используемым для травления. Травители должны обладать высочайшей селективностью по отношению к веществам топологических слоёв, уже сформированных на пластине, и к фоторезисту. Выполнение этого требования становится возможным только при использовании химикатов высочайшей степени чистоты, специально разработанных для селективного удаления определённых материалов и широко используемых ведущими производителями микроэлектронных устройств. Ниже представлен список травителей, поставляемых нашей компанией.
Основные характеристики
|
Реагент |
Удаляемое вещество |
Чистота |
|
Al |
MOS |
|
|
Si |
VLSI |
|
|
Cr |
VLSI |
|
|
Cr |
VLSI |
|
|
Si |
VLSI |
|
|
Si |
VLSI |
|
|
MOS |
||
|
MOS |
||
|
Au |
VLSI |
|
|
MOS |
||
|
MOS |
||
|
Ti |
MR |
|
|
SiO2 |
VLSI |
|
|
SiO2 |
VLSI |
|
|
Si |
VLSI |
|
|
Si |
VLSI |
|
|
Si |
MR |
|
|
Cu*, Al* |
MOS (M |
|
|
VLSI (M=10-50 ppb) |
||
|
ULSI (M=1 ppb) |
||
|
Металлы* |
VLSI |
|
|
Металлы, Si* |
VLSI |
|
|
SiO2 |
VLSI |
|
|
Si3N4* |
VLSI |
|
|
Si*, Cu*, Al* |
VLSI |
*В составе смесей
Условия поставки
Реагенты поставляются под заказ
Упаковка
Стандартной упаковкой для реагентов являются бутылки объёмом 2,5 л, канистры 5 и 25 л, а также бочки объёмом от 60 л.
Хранение и транспортировка
Срок годности реагентов составляет 1 год. Реагенты могут транспортироваться при отрицательных температурах, но в этом случае перед их использованием необходимо выдержать их при комнатной температуре не менее 2 недель.
