Товары компании JEOL


Артикул: 5-363082

  • Разрешение 1,2 нм (30 кВ), 3,0 нм (1 кВ), 3,0нм (15 кВ, 5 нА, рабочий отрезок 10 мм)
  • Ускоряющее напряжение 200 В - 30 кВ
  • Ток пучка 1 пА - 200 нА 1 пА - 20 нА (с установленной горловиной)

Артикул: 5-363083

  • Разрешение в режиме низкого вакуума 1,8 нм (30 кВ, 30 пА)
  • Тип катода Термополевой (Шоттки)
  • Увеличение х10- x1 000 000
  • Ускоряющее напряжение 10 В - 30 кВ
  • Ток пучка 1 пА - 300 нА

Артикул: 5-363084

  • Тип источника электронов Термоэмиссионный катод (катод Шоттки)
  • Ускоряющее напряжение 100 В - 30 кВ
  • Увеличение х25 - x1 000 000 (в пересчете на площадь фотопластины 120 мм х 90 мм)
  • Ток пучка от 1 пА до более, чем 200 нА
  • Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму Встроена в базовую комплектацию

Артикул: 5-363085

  • Разрешение 0,8 нм (15 кВ), 1,2 нм (1 кВ), 3,0нм (15 кВ, 5 нА, рабочий отрезок 10 мм)
  • Увеличение x25- x1 000 000
  • Ускоряющее напряжение 10 В - 30 кВ
  • Ток пучка 1 пА - 200 нА
  • Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму Встроена по умолчанию

Артикул: 5-363086

  • Увеличение x25- x1 000 000
  • Ускоряющее напряжение 10 В - 30 кВ
  • Ток пучка 1 пА - 500 нА
  • Источник электронов Термополевой (катод Шоттки)
  • Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму Встроена по умолчанию

Артикул: 5-363119

  • Давление в камере образцов около 4 Па
  • Диаметр камеры образцов 86 мм
  • Высота камеры образцов 98 мм
  • Размеры мишени диаметр – 49 мм, толщина – 0,1 мм
  • Диаметр электрода мишени 20 мм

Артикул: 5-363120

  • Достигаемое давление 3х10-4Па или менее 
  • Управление вакуумной системой Автоматическое
  • Измерение давления Вакуумный датчик Пенинга или датчик Пирани
  • Индикация давления Встроена
  • Колпак 250 мм (высота) х 250 мм(диаметр), материал - стекло

Артикул: 5-363121

  • Достигаемое давление 1х10-4Па или менее
  • Управление вакуумной системой Автоматическое
  • Измерение давления Вакуумный датчик Пенинга или датчик Пирани
  • Индикация давления Встроена
  • Колпак 250 мм (высота) х 250 мм(диаметр), материал - стекло

Артикул: 5-363122

  • Тип напыления: Магнетронный
  • Рабочее давление Не более 20 Pa
  • Ионный ток Предустановленные значения 10, 20, 30, 40 мА
  • Мишень Pt (стандарт), диаметр 57 мм
  • Столик для образцов диаметр 64мм

Артикул: 5-363123

  • Ускоряющее напряжение 1 ~ 8кВ
  • Угол падения пучка до ± 6 ? (шаг 0.1 ?)
  • Диаметр пучка 500мкм (FWHM)
  • Скорость травления 5мкм/мин (ускоряющее напряжение: 8кВ, эквивалент Si)
  • Используемый газ Аргон