Растровый микроскоп JEOL JSM-7200F

Новый растровый электронный микроскоп компании JEOL, JSM-7200F, разрабатывался как универсальный прибор, способный работать практически с любыми образцами и решать практически любые задачи. Этот РЭМ позволяет изучать даже магнитные, электронепроводящие, биологические, а также чувствительные к воздействию электронного пучка образцы. Примененная в нем запатентованная компанией JEOL технология Shottky Plus позволяет достигать высокого разрешения при низких ускоряющих напряжениях (1,6 нм при 1 кВ), а также получать высокие токи пучка – до 300 нА.

Высокое значение максимального тока пучка и наличие большого количества портов в камере образцов JSM-7200F позволяют оснащать этот РЭМ множеством различных приставок: 
• энергодисперсионным спектрометром; 
• спектрометром с дисперсией по длинам волн; 
• детектором дифракции отраженных электронов; 
• системой катодолюминесценции; 
• спектрометром комбинационного рассеяния света; 
• системой микро-рентгеновского флуоресцентного анализа; 
• наноманипуляторами; 
• ПРЭМ-детектором; 
• системой РЭМ-томографии Gatan 3View; 
• спектрометром мягкого рентгеновского излучения и др. 
Также JSM-7200F может быть дооснащен специальными столиками для нагрева, охлаждения или растяжения/сжатия образцов.

Гибридная коническая объективная линза JSM-7200F является комбинацией электромагнитной и электростатической линз. Ее конструкция позволяет полностью исключить воздействие магнитного поля линзы на образец, что очень важно для исследования магнитных материалов, а также для получения картин дифракции отраженных электронов. Энергетический фильтр и так называемая система TTL (“through-the-lens”), встроенная в электронную колонну JSM-7200F базовой комплектации, позволяет получать изображения, используя электроны только с определенными энергиями. Это дает возможность оператору РЭМ JSM-7200F получать массу дополнительной информации об объектах исследований.

Используемая в JSM-7200F технология большой глубины фокуса LDF (long depth of field) позволяет проводить анализ больших площадей рельефных или наклонных образцов, не перемещая предметный столик РЭМ. Она крайне полезна при работе с детектором дифракции отраженных электронов, который требует наклона образца под углом 70°. Особенно хорошо технология LDF проявила себя при построении больших карт ориентации кристаллитов и полей остаточных напряжений.

• минимизирует загрязнение камеры образцов и электронно-оптической колонны, а значит продлевает срок службы термополевого катода и диафрагм; 
• в несколько раз уменьшает время замены образцов; 
• снижает нагрузку на систему откачки микроскопа и тем самым продлевает ресурс турбомолекулярного и ионных насосов; 
• сводит к нулю риск повреждения сверхтонких окон энергодисперсионного и волнодисперсионного спектрометров.