JIB-4000 – это однолучевая система со сфокусированным ионным пучком, которая может быть использована в режиме ионного микроскопа для анализа морфологии поверхности образцов либо в качестве системы ионного травления для приготовления образцов РЭМ и ПЭМ. Она оснащена ионной колонной специальной конструкции и отличается высокой производительностью и надежностью. Графический интерфейс пользователя прост и понятен, и управление системой не представляет трудностей даже для начинающих операторов.
По желанию заказчика, JIB-4000 может быть одновременно укомплектован двумя столиками образцов, первый из которых полностью совместим со стандартными держателями образцов растровых электронных микроскопов, а второй – с держателями ПЭМ. Эта полезная опция позволяет проверять качество приготовления образцов, предназначенных для исследований методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии, проводить их обработку и утонение, не демонтируя с держателей, а значит, не подвергая риску повреждений. Столик каждого типа в JIB-4000 оснащен шлюзовой камерой. Это позволяет экономить время при замене образцов, а, главное, уменьшает степень загрязнения камеры образцов и ионно-оптической колонны.
Для данной ионной системы разработано множество разнообразных приставок. Они позволяют проводить напыление углеродом, вольфрамом и платиной, манипулировать образцами больших размеров, проводить ионное травление по заданному шаблону (ионную литографию), работать с держателями сканирующих электронных микроскопов и микроанализаторов старых моделей.
Основные преимущества:
• Стабильная, надежная, высокопроизводительная ионная колонна специальной конструкции, позволяющая в режиме травления быстро стравливать большие объемы материала, а в режиме наблюдения обеспечивающая высокое разрешение получаемых микрофотографий (5 нм с использованием детектора вторичных электронов);
• Возможность работы с образцами, уже установленными на держатели растровых и просвечивающих электронных микроскопов или электронно-зондовых микроанализаторов;
• Наличие программного обеспечения для проведения ионной литографии;
• Возможность напыления образцов углеродом, вольфрамом и платиной;
• Наличие двух шлюзов: для держателей РЭМ и для держателей ПЭМ.
• Суммарная стоимость JIB-4000 и РЭМ JEOL ниже стоимости двулучевой системы, а производительность – выше.
| Источник ионов | галлиевый |
| Ускоряющее напряжение | 1 - 30 кВ (с шагом 5 кВ) |
| Увеличение | x60 (в режиме навигации по образцу) x200 – x300 000 |
| Разрешение изображений во вторичных электронах | 5 нм (при ускоряющем напряжении 30 кВ) |
| Ток пучка | до 60 нА (при ускоряющем напряжении 30 кВ) |
| Апертурная диафрагма | 12-позиционная |
| Столик для образцов РЭМ | Эвцентрический гониометрический столик, моторизованный по 5-ти осям |
| Диапазоны перемещений столика для образцов РЭМ | Ось X: ±11 мм Ось Y: ±15 мм Ось Z: -23…+0,5 мм Наклон: -5°…+60° Вращение: 360°, непрерывное |
| Максимально допустимые размеры образцов для РЭМ | Диаметр - 28 мм, высота – 13 мм; Диаметр - 50 мм, высота – 2 мм |
| Доступные опции | Углеродный картридж (IB-52110CDC2) Вольфрамовый картридж (IB-52120WDC2) Платиновый картридж (IB-52130WDC2) Система напуска газа (IB-02100GIS2) Гониометрический столик бокового ввода (IB-01040SEG) Детектор тока пучка (IB-04010PCD) Панель оператора (IB-05010OP) Система навигации по большим образцам (IB-01200SNS) Держатель для тонких образцов (EM-02210) Держатель для массивных образцов (EM-02220) Держатель для массивных образцов FIB 1 (EM-02560FBSH1) Держатель для массивных образцов FIB 2 (EM-02570FBSH2) Переходник для держателей термополевых РЭМ (EM-02580FSHA) Наконечник для держателей ПЭМ (EM-02280) Настольная система монтажа образцов ПЭМ на держатели (EM-02230) |
