Компания Остек поставляет пластины из плавленного (аморфного) кварца, производства фирмы Plan Optik AG. Кварцевые пластины изготавливаются из сырья высочайшей степени чистоты. Низкий ТКЛР и малое содержание OH-групп позволяет использовать стеклянные пластины PlanOptik AG в оптических, УФ, ИК приборах, а также для изделий, работающих при высоких температурах.
Основные характеристики
Параметр
Значение
Диаметр, мм
100
150
200
Толщина, мкм
200 ÷ 1000
200 ÷ 1000
300 ÷ 1000
Общее изменение толщины по пластине (TTV), мкм
<10
Коэффициент температурного расширения, (10-6 K-1)
0..100 °C: 0.51
0..200 °C: 0.58
0..300 °C: 0.59
0..600 °C: 0.54
0..900 °C: 0.48
-50..0 °C: 0.27Наличие фасок или срезов (согласно стандартам SEMI)
Срезы
Срезы
Фаски
Удельное сопротивление, Ом×см
20 °C: 1.0×1018
400 °C: 1.0×1010
800 °C: 6.3×106
1200 °C: 1.3×105Обработка поверхности
Двусторонняя полировка
Шероховатость поверхности
Ra<0,5 нм
Нерабочая область, мм от края
6
Обработка кромки
Согласно стандарту SEMI M1
Условия поставки
Пластины из аморфного кварца могут иметься на складе, но в большинстве случаев они изготавливаются и поставляются под заказ согласно спецификации заказчика.
Упаковка
Пластины из аморфного кварца упакованы в стандартные контейнеры по 25 пластин. Пластины с малой толщиной могут быть упакованы в индивидуальные контейнеры. Все контейнеры упаковываются производителями в чистых помещениях класса не хуже ISO 5 и помещаются в металлизированный пакет, обеспечивающий защиту от влаги и вредных газов, содержащихся в атмосфере.
Хранение и транспортировка
Срок годности пластин неограничен при условии хранения в инертной среде. Пластины хранятся в специальных шкафах, наполненных азотом и при пониженной влажности воздуха. Транспортировка пластин осуществляется согласно правилам перевозки хрупких грузов.
Другие материалы нашего каталога: золотая проволока
