Пластины из монокристаллического кварца

Пластины из монокристаллического кварца применяются для создания акустоэлектронных приборов, а также в оптике. Для получения заданных характеристик приборов требуются пластины высокого качества. Наиболее жёсткие требования предъявляются к чистоте материала, точности ориентации кристалла, геометрическим параметрам (толщина, изгиб, коробление) и качеству обработки поверхности.

Основные характеристики

Метод выращивания	Гидротермальный
Диаметр, мм	50,8 ± 0,1	76,2 ± 0,1	100,0 ± 0,1
Толщина, мм		0,35 / 0,50 ± 0,02	0,35 / 0,50 ± 0,02
Стандартные срезы	ST, AT, Z, X
Длина основной фаски, мм	16 ± 2 по оси X	23 ± 2 по оси X	32 ± 2 по оси X
Кромка	0,3×0,075	0,3×0,075	0,3×0,075
Неплоскостность на участке 13,6×13,6 мм (LTV), мкм:	≤ 3	≤ 3	≤ 5
Разнотолщинность (TTV), мкм	<= 3 um	<= 5 um	<= 7 um
Прогиб, мкм	≤ 30	≤ 40	≤ 40
Обработка лицевой стороны	Полировка лицевой стороны, RMS < 5Å (AFM)
Обработка обратной стороны	Шлифовка (Ra = 0,2-0,5 мкм) либо полировка
Плотность травления каналов (ECD), см-2	< 100

Условия поставки

Пластины из монокристаллического кварца поставляются под заказ согласно спецификации заказчика.

Упаковка

Пластины из монокристаллического кварца упакованы в стандартные контейнеры по 25 пластин. Пластины с малой толщиной могут быть упакованы в индивидуальные контейнеры. Все контейнеры упаковываются производителями в чистых помещениях класса не хуже ISO 5 и помещаются в металлизированный пакет, обеспечивающий защиту от влаги и вредных газов, содержащихся в атмосфере.

Хранение и транспортировка

Срок годности пластин неограничен при условии хранения в инертной среде. Пластины хранятся в специальных шкафах, наполненных азотом и при пониженной влажности воздуха. Транспортировка пластин осуществляется согласно правилам перевозки хрупких грузов.