Материалы компании AZ представлены широкой номенклатурой фоторезистов и химии для литографии. AZ производит позитивные и негативные фоторезисты для процессов жидкостного и сухого травления, а также гальванического осаждения. Также доступны резисты для получения высокого разрешения и процессов обратной (взрывной) фотолитографии. Возможные варианты нанесения: центрифугирование, окунание, спрей.
Фоторезисты серии AZ 1500
Данная серия позитивных фоторезистов благодаря своей прекрасной адгезии отлично подходит для процессов сухого и жидкостного травления. Фоторезисты этой серии имеют различные значения вязкости, что позволяет как получать плёнки толщиной до 3 мкм, так и достигать субмикронных разрешений. Совместимость данных фоторезистов со всеми популярными проявителями и снимателями еще больше упрощает работу с ними.
Фоторезист AZ 1505 дает возможность достигать толщины плёнки около 500 нм и, как следствие, высокого разрешения, что позволяет использовать его для травления Cr при производстве фотошаблонов. Фоторезист AZ 1512 HS отличается высокой концентрацией фото-активного компонента, что обуславливает его высокую контрастность при толщине плёнки около 0,98 – 1,7 мкм. Отличительной особенностью фоторезиста AZ 1514 H является его улучшенная адгезия, обусловленная использованием специальных смол. Фоторезист по AZ 1518 позволяет добиться максимальной стабильности процесса жидкостного травления благодаря увеличенной толщине плёнки фоторезиста, которая в данном случае достигает 2,55 мкм.
- Тон: позитивный.
- Толщина плёнки: 0,5 – 3 мкм.
- Экспонирование: i-линия (365 нм), h-линия (405 нм) и g-линия (436 нм) или интегральное экспонирование (350 – 400 нм).
- Проявление: TMAH, KOH и большинство других проявителей.
- Удаление: AZ 100 Remover и большинство других снимателей.
-
Условия поставки
Поставка под заказ. Срок поставки от 6 недель.
Упаковка, хранение и транспортировка
Хранить в упаковке от производителя в плотно закрытом контейнере вдали от солнечных лучей и источников УФ излучения при температуре, указанной на упаковке. Минимальный срок годности составляет 3 месяца. Большинство фоторезистов хранятся в течение 6 месяцев. Упаковку открывать строго в жёлтом свете.
Доступные типы упаковок: 1-, 4-, 5- и 200-литровые контейнеры.
