Очень часто при разработке новых технологических процессов либо при отладке технологии возникает необходимость управлять вязкостью фоторезиста. Такое требование возникает в связи с необходимостью изменить толщину наносимого покрытия или метод нанесения фоторезиста (например, использовать спрей вместо центрифугирования). Также для производства микросхем с субмикронными топологическими нормами необходимо наносить достаточно тонкие плёнки фоторезиста. Для этих целей используют органические растворители, которые меняют вязкость фоторезиста, не изменяя его химической структуры и эксплуатационных характеристик. При этом очень важно использовать вещества повышенного качества и чистоты, особенно в процессах, где требуется субмикронное разрешение фотолитографии.
Основные характеристики
Материал |
Точка вспышки, °С |
Температура кипения, °С |
Особенности |
Степень чистоты |
22 |
131 |
Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика |
ULSI, VLSI |
|
59 |
154 |
Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика |
VLSI |
|
-1 |
77 |
Разбавление фоторезистов, удаление краевого валикам |
MR, MOS, VLSI |
|
13 |
82 |
Растворитель, средство для отмывки органических загрязнений |
VLSI |
|
ULSI |
||||
SULSI |
||||
14 |
116 |
Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика |
VLSI |
|
11 |
64,7 |
Растворитель, средство для отмывки органических загрязнений |
VLSI, ULSI |
|
45 |
125 |
Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика |
ULSI |
|
91 |
202 |
Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика |
MOS |
|
VLSI |
||||
98 |
204 |
Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика |
ULSI |
|
48 |
148-151 |
Пригоден в т.ч. для НИЛ резистов |
VLSI |
|
14 |
100-105 |
Разбавитель. Пригоден в т.ч. для НИЛ резистов |
VLSI |
|
45 |
143 |
Разбавитель. Пригоден в т.ч. для НИЛ резистов |
VLSI |
|
- |
- |
Пригоден в т.ч. для НИЛ резистов |
VLSI |
Условия поставки
Разбавители фоторезистов поставляются под заказ.
Упаковка
Разбавители фоторезистов упакованы в бутылки и банки различного объёма.
Хранение и транспортировка
Срок годности и условия хранения разбавителей фоторезистов указаны в техническом описании на данные продукты.a