Полировальная суспензия Ferro TruPlane 2066 купить по низким ценам в интернет-магазине, характеристики, описание

Процесс химико-механической полировки (ХМП) находит широчайшее применение в микроэлектронике. ХМП используется как для производства пластин Si и других полупроводниковых материалов, так и для планаризации поверхностей различных слоёв в производстве микросхем, МЭМС, и других приборов. Изоляция транзисторов диэлектриком, подготовка подложек для эпитаксии, трёхмерная интеграция и создание многоуровневой металлизации — это лишь небольшой перечень технологических блоков, где ХМП является необходимым. Группа компаний Остек поставляет широкий ассортимент суспензий для ХМП, производимых компанией Ferro.

Основные характеристики

Суспензия	Основа	Применение	Средний диаметр частиц, мкм
Ferro SRS-2080		ХМП сапфира	2,0
Ferro TruPlane 1983	Al2O3	ХМП сапфира	0,4
Ferro TruPlane 2000	Al2O3	ХМП сапфира	0,2
Ferro TruPlane 2066		ХМП сапфира	0,2
Ferro TruPlane 8272	CeO2	ХМП SiO2	0,14
Ferro SRS-1739	CeO2	ХМП SiO2 (STI)	0,12
Ferro SRS-2067	CeO2	ХМП SiO2	0,13
Ferro SRS-2085	CeO2	ХМП SiO2
Ferro SRS-2092	CeO2	ХМП SiO2	0,13
Ferro TruPlane 1631	CeO2	ХМП SiO2	0,13

Условия поставки

Полировальные суспензии поставляются под заказ

Упаковка

Полировальные суспензии поставляются в банках, вёдрах и бочках различного объёма.

Хранение и транспортировка

Срок годности полировальных суспензий составляет 12 месяцев при комнатной температуре.

ктриком, подготовка подложек для эпитаксии, трёхмерная интеграция и создание многоуровневой металлизации — это лишь небольшой перечень технологических блоков, где ХМП является необходимым. Группа компаний Остек поставляет широкий ассортимент суспензий для ХМП, производимых компанией Ferro.