Многие технологические процессы в микроэлектронике проводятся при высоких температурах (450-1200°С). К таковым относятся процессы окисления, эпитаксии, пиролитического осаждения (CVD), диффузии и другие. Для загрузки пластин в высокотемпературные печи используются материалы с повышенной температурной устойчивостью, стойкие к перепадам температур и не генерирующие загрязнений. Самым распространённым материалом для изготовления оснастки для высокотемпературных процессов является кварц, поскольку он удовлетворяет всем вышеперечисленным требованиям. Группа компаний Остек поставляет оснастку из кварца для проведения высокотемпературных процессов.
Основные товары:
- кварцевые лодочки для загрузки пластин в печь;
- кварцевые лодочки для загрузки толстых пластин и планарных источников диффузии (широкие пазы до 1,5 мм);
- кварцевые стержни;
- кварцевые трубы для реакторов;
- кварцевые нагреватели для ванн с агрессивными веществами;
- кварцевая химическая посуда
Условия поставки
Кварцевая оснастка поставляется под заказ.
Упаковка
Кварцевая оснастка упакована в чистых помещениях (ISO5-ISO7).
Хранение и транспортировка
Срок годности кварцевой оснастки при хранении неограничен. Срок службы кварцевой оснастки при использовании на химии либо в высокотемпературных процессов зависит от условий использования.
