Гибридные УФ-отверждаемые полимеры обладают высокой прозрачностью, хорошими механическими свойствами, а также высокой химической и температурной устойчивостью. Они могут применяться в самых разнообразных областях микроэлектроники, таких как НИЛ, создание массивов микролинз, оптических волноводов, обычной и лазерной литографии. Все гибридные полимеры поставляются в жидком виде и наносятся на подложку методом центрифугирования. Их отверждение происходит при воздействии УФ излучения с длинами волн 300-410 нм и последующем нагреве до 140-160°С.
Основные характеристики
|
Свойства до отверждения |
Свойства после отверждения |
||||||
|
Полимер |
Вязкость, Па*с |
Толщина слоя при 3000 об/мин, мкм |
Усадка, % |
Коэф. преломления |
КТР, 10-6/К |
Модуль Юнга, ГПа |
Твёрдость, МПа |
|
2.0±1.0 |
20 |
5-7 |
1.520 |
60 |
~1 |
~68 |
|
|
(7-18)*10-3 |
не применимо |
5-7 |
1.520 |
60 |
~1 |
~68 |
|
|
0.4±0.2 |
10 |
4-6 |
1.516 |
105 |
~0.6 |
~0.36 |
|
|
2.9±0.4 |
30 |
2-5 |
1.555 |
100-130 |
~1 |
~53 |
|
|
2.5±1.0 |
30 |
2-5 |
1.537 |
100-130 |
~0.5 |
~24 |
|
|
2.9±0.4 |
30 |
3-5 |
1.555 |
130 |
~1.2 |
~60 |
|
|
10±2 |
45 |
<2 |
1.559 |
130 |
~0.8 |
~90 |
|
|
30±3 |
100 |
<<2 |
1.561 |
130 |
~0.8 |
~90 |
|
Условия поставки
Гибридные УФ-отверждаемые полимеры поставляются под заказ
Упаковка
Гибридные УФ-отверждаемые полимеры упакованы в бутылки и банки различного объёма.
Хранение и транспортировка
Срок годности и условия хранения гибридных УФ-отверждаемых полимеров указаны в техническом описании на данные продукты. Заморозка материалов недопустима.
