Точность достигает субнанометрового уровня, а оперативное обнаружение происходит всего за 1 секунду.
Возможность изучать шероховатости, контуры, 3D топографию и получать изображение как на SEM микроскопах
1. Возможность точного захвата сверх высокоточной микроскопической 3D-топографии
AM-200 может использоваться для измерения поверхности различных прецизионных устройств и материалов на субнанометровом уровне и получения 3D-топографии в виде "поверхности"
3D-морфология обрабатывается и анализируется специальным программным обеспечением, а максимальная среднеквадратичная повторяемость может достигать 0,002 нм.
2. Сверхвысокая скорость значительно повышает эффективность измерений и может использоваться в автоматизированных производственных линиях.
ATO-200 оснащен крупномасштабными и высокоскоростными нанопьезоэлектрическими керамическими устройствами с максимальной скоростью сканирования 400 мкм / с, 3200 Гц и первым в отрасли алгоритмом SST + GAT, который может быстро отсканировать до 5 миллионов точек.
3. Большое поле зрения и крупномасштабные измерения с высокой точностью.
Принцип интерферометрии белого света позволяет достигнуть точность < 1 нм может быть получена при любом увеличении.
4. Множество измерительных инструментов в программном обеспечении, позволяющих легко справляться с различными задачами и легко анализировать 3D-данные
Уникально модулированный светодиодный источник белого света
Разница между пиками яркости интерференционных полос в точке А и точке В является разницей высот. Две колонки когерентных источников света с одинаковой частотой, постоянной разностью фаз и постоянным направлением вибрации могут создавать световые помехи. |
Длина волны серии 210/230 - зеленый 520 нм
или
Длина волны серии 250 - синий 465нм
Высокочувствительный высокоскоростной датчик, с новым алгоритм работы в условиях низкой освещенности. Слабые световые сигналы, которые не могли быть зафиксированы в прошлом, могут быть получены и рассчитаны для повышения точности измерений. Прозрачные изделия с коэффициентом отражения всего 0,02% могут быть изучены и замерены.
Характеристика угла наклона гладкой поверхности составляет до 53°, а угол наклона локального сечения может достигать 90°
Большой выбор интерференционных объективов: 115х, 100х, 50х, 20х, 10х, 5х, 2,5х
Измерение поперечного сечения и плоскости в любом положении
Примеры работы программы
Характеристики
Модель |
ATO-210 |
ATO-230 |
ATO-250 |
||||||||||||
Видеокамера FHD |
2.3MP |
2.3MP |
5MP |
||||||||||||
Объектив, увеличение |
2,5х |
5х |
10х |
20х |
50х |
100х |
115х |
2,5х |
5х |
10х |
20х |
50х |
100х |
115х |
|
Рабочее расстояние, мм |
10,3 |
9,3 |
7,4 |
4,7 |
3,4 |
2 |
0,7 |
10,3 |
9,3 |
7,4 |
4,7 |
3,4 |
2 |
0,7 |
|
Видимое поле |
7.3 × 4.6 |
3.7 × 2.3 |
1.8 × 1.2 |
0.91 × 0.58 |
0.37 × 0.23 |
0.18 × 0.12 |
0.16 × 0.1 |
3.4 × 2.8 |
1.7 × 1.4 |
0.85 × 0.71 |
0.43 × 0.36 |
0.17 × 0.14 |
0.09 × 0.07 |
0.075 × 0.06 |
|
Шаг точки/мкм |
3.8 |
1.9 |
0.96 |
0.48 |
0.19 |
0.1 |
0.08 |
1.4 |
0.7 |
0.35 |
0.175 |
0.07 |
0.035 |
0.03 |
|
Точность измерения X.Y, мкм |
2 |
1 |
0.5 |
0.25 |
0.13 |
0.06 |
0.04 |
0.8 |
0.4 |
0.2 |
0.1 |
0.05 |
0.03 |
0.02 |
|
Количество пикселей |
1920 × 1200 |
2456 × 2054 |
|||||||||||||
Скорость сканирования |
169-3200Hz |
77-2000Hz |
|||||||||||||
Измерение по оси Z |
5000 мкм |
400 мкм |
100мкм |
||||||||||||
Тип сканирования |
Интерференция белого света |
||||||||||||||
Характеристики поверхности измерения |
Супер-гладкая поверхность, шероховатая поверхность; отражающая способность поверхности 0,02%˜100% |
||||||||||||||
Источник света |
Источник белого / зеленого света |
Источник белого / зеленого света |
Источник белого / синего света |
||||||||||||
Разрешение дисплея |
0.001nm |
0.001nm |
0.001nm |
||||||||||||
Повторяемость |
0.005nm |
0.003nm |
0.002nm |
Характеристики стола (возможно изготовление стола под заказ)
Модель |
AM-H1 |
AM-D1 |
WM для пластин |
Тип |
ручной |
Моторизованный |
Моторизованный |
Диапазон перемещения |
100х70 |
100х100 |
300х300 |
Точность |
1 мм |
0,01 мкм |
0,5 мкм |
Повторяемость |
- |
≤0.2 мкм |
±1 мкм |
Точность позиционирования |
- |
±3 мкм |
±10 мкм |
Максимальная нагрузка, кг |
3 |
2 |
15 |
Максимальная скорость,мм/с |
- |
60 |
200 |
Угол наклона |
±5° |
±5° |
- |
Возможность изготовления стола под заказ.