Микроскоп лазерной спектроскопии ICX-1000

Конфокальный микроскоп лазерной спектроскопии серии ICX-1000

Лазерный спектроскопический конфокальный микроскоп серии ICX представляет собой субмикронный инструмент исследования, который широко используется при сканировании поверхности и измерении крошечных структур и специальных материалов. Измерительный модуль использует спектральную конфокальную технологию, которая может измерять информацию о высоте различных материалов бесконтактным методом и высокой точностью. В сочетании с модулем XY-сканирования с обратной связью и алгоритмом 3D-визуализации можно получить микроструктуры тонкой поверхности. В многофункциональном модуле постобработки графики также могут гибко выполняться обработка изображений, 3D-анализ, контурный анализ, анализ шероховатости и т.д. Лазерные спектроскопические конфокальные микроскопы серии ICX используются в прецизионной обработке, обработке поверхности, трении и износе, разработке новых материалов, разработке топливных элементов, производстве MEMS, производстве пластин, прецизионном оптическом производстве, тестировании деталей, микрофлюидных чипах, мембранных структурах, и других областях.

Преимущества:

• Большой диапазон сканирования Измеримый размер выборки от микрометров до метров Сверхвысокая скорость сканирования
• Скорость движения автоматизированного предметного столика составляет 80 мм/с, что позволяет быстро выполнять анализ профиля линии.
• Простое управление устройством.
• Образцы не нуждаются в предварительной обработке, программное обеспечение имеет собственную управление и навигацию, а интерактивный интерфейс достаточно прост. Аналитические отчеты и статистические отчеты могут быть автоматически сгенерированы в Сверхвысокая точность измерений, разрешение по оси Z до 2мкм
• Сверхбогатые функции анализа, программное обеспечение поставляется с функциями обработки и анализа изображений, которые могут выполнять работу по анализу данных, такую как контурный анализ, анализ плоскости, объемный анализ, анализ шероховатости и статистический анализ.
• Он может одновременно измерять различные типы материалов, такие как прозрачные и непрозрачные, гладкие и шероховатые, с низким отражением и высокими отражениями. Для гладких поверхностей угол склона составляет до ±45 градусов.

Традиционная спектральная конфокальная технология использует светодиод в качестве источника света, но недостатком является то, что диапазон длин волн короткий, а распределение интенсивности света неравномерно. ICX инновационно использует в качестве источника света атомарные светоизлучающие материалы с лазерным возбуждением. Этот новый материал может излучать широкополосный и высокоинтенсивный сложный свет при облучении 450-нм синего лазера, что значительно улучшает производительность технологии спектрального общественного фокуса. В стандартной среде разрешение по оси Z ICX составляет до 2 нм.

Делитель луча в модуле объектива ICX является не только компонентом коаксиального конфокального светового пути, но и основным компонентом дисперсионного светового пути. После того, как полихроматический свет проходит через делитель луча, спектр равномерно распределяется по оси Z, и каждое конкретное расстояние (расстояние между измеряемым объектом и модулем линзы) соответствует определенной длине волны. Отраженный свет определенной длины волны последовательно собирается фокусирующим зеркалом, преломляется делителем луча и фильтруется микропорой и, наконец, обнаруживается спектральным детектором

Преимущества ICX-1000

1. Бесконтактное неразрушающее измерение

2. Разрешение по оси Z до 2 нм

3. Мягкие материалы также могут быть измерены

4. Предоставляет всю информацию о точках, линиях, поверхностях и объемах

5. Не ограничивается традиционным оптическим разрешением

6. Отсутствие проблем с оптической глубиной резкости

7. Предварительная обработка не требуется

8. Диапазон сканирования можно настроить

9. Может выполнять 3D-анализ размеров

Недостатки оптического профилометра

1. Трудности с захватом неровных форм поверхности

2. Плохое боковое разрешение затрудняет позиционирование

3. Неудобно для регулировки наклона

Недостатки сканирующего электронного микроскопа

1. Материал не является проводящим и нуждается в напылении

2. Размер выборки ограничен

3. Невозможность измерения 3D-форм

Примеры сканирования

Характеристики