Система калибровки эталонного уровня для очень низкого давления
- Покрывает диапазон от 0 до 15 кПа (113 торр) в режимах избыточного, абсолютного дифференциального и абсолютного давления.
- Разрешение до 1 мПа (0,0075 мторр).
- Погрешность измерения не более: ± (5 мПа + 30 миллионных долей от показания) в режимах избыточного и абсолютного дифференциального давления, ± (8 мПа + 30 миллионных долей от показания) в режиме абсолютного давления.
- Полная автоматизация рабочего процесса, включая контроль давления и получение данных проверяемого устройства, позволяет проводить многошаговые проверки без участия оператора. Если необходимо, можно применять интегрированную коррекцию температурной транспирации.
За счет очень низкой погрешности в диапазоне давления, который покрывается стандартными грузопоршневыми манометрами, FPG8601 устраняет потребность в средствах поддержания постоянной связи с национальными эталонами.
Покрываемый диапазон измерения составляет от нуля (0,5 Па в абсолютном) до 15 кПа (112 торр) в режимах избыточного и абсолютного давления. Погрешность измерения, которая включает ± 30 миллионных долей от показания и нижний порог, является достаточно низкой для проведения калибровки типовых эталонов-переносчиков с диапазонами вплоть до 130 Па (1 торр) и даже 13 Па (100 мторр).
Погрешность измерения FPG8601 была документально подтверждена в ходе полного анализа погрешности. Стабильность аппарата во времени, которая зависит от стабильности поршневого цилиндра из карбида вольфрама и стабильности всей массы нержавеющей стали, обеспечивает FPG8601 диапазон калибровки, такой же как и у стандартных грузопоршневых манометров без особых дополнительных требований к техническому обслуживанию.
В дополнение к превосходной метрологической производительности FPG8601 предлагает полностью автоматизированную работу, приемлемые габаритные размеры и вес, а также не требует особых условий окружающей среды, сверх имеющихся в современной метрологической лаборатории.
Система грузопоршневого манометра с динамометром и со стандартным разрешением
Включает в себя:
- платформу FPG8601
- терминал FPG8000
- способность работать в режиме грузопоршневого манометра с давлением 10 кПа/кг FPG8601
- Стандартное разрешение (10 мПа)
- Контроллер давления VLPC
- Взаимосвязи между VLPC и платформой FPG8601
- Системный контроллер с системным ПО, (2) порты RS-232 и IEEE-488
- Устройство для ввода поршня
- Руководство по эксплуатации и техобслуживанию
- Отчет о проведении аккредитованной калибровки A2LA
|
Общие характеристики |
|
| Требования к электропитанию | FPG8601: от 85 до 264 В переменного тока, 50/60 Гц, не более 60 ВА VLPC: от 85 до 264 В переменного тока, 50/60 Гц, не более 70 ВА |
| Температурный диапазон нормальной эксплуатации | от 20 до 26 °C |
| Стабильность температуры окружающей среды | Скорость изменения не более 0,1 °C в минуту |
| Масса | Платформа FPG8601: 30 кг Терминал FPG8601: 2 кг Контроллер давления VLPC: 41 кг |
| Габариты | Платформа FPG8601: 53 x 36 x 35 см Терминал FPG8601: 12 x 15 x 20 см Контроллер давления VLPC: 31 x 51 x 53 см |
| Системный контроллер | Использует ПО FPG Tools™, операционную систему Windows®, интерфейсы RS-232 и IEEE-488 для получения данных манометра с неуплотненным поршнем и проверяемого устройства |
| Полный диапазон давления | от 0 до 15 кПа избыточного, абсолютного, абсолютного дифференциального давления |
| Измерительная среда | N2 или воздух |
| Время перехода между режима | Из абсолютного в избыточный: 30 минут Из избыточного в абсолютный: 1 час |
| Вибрация | Также как для стандартных грузопоршневых манометров; вакуумные насосы должны соединяться гибкими шлангами |
| Подача давления | Смазочный газ для поршневого цилиндра (FPG8601): от 700 до 800 кПа, чистый сухой N2 или воздух Опорный вакуум для манометра с неуплотненным поршнем (для абсолютных режимов): центробежный насос: обычно 378 м3/ч, от 8,1 до 6 Па предельного остаточного давления ротационный пластинчатый насос: 16,5 м3/ч, 0,2 Па предельного остаточного давления Подача VLPC: от 700 до 800 кПа, чистый сухой N2 Вакуум VLPC: 10 м3/ч @ 0,5 Па Управляющий воздух (FPG8601 и VLPC): от 400 до 700 кПа, производственный сжатый воздух |
| Подсоединение давления | Высокое измерительное (FPG8601): KF16 Низкое измерительное (FPG8601): KF16 Опорный вакуум (FPG8601): KF25 Вакуум (FPG8601): 1/8 дюйма NPT F (внутренняя нормальная коническая трубная резьба (США)) Управляющий/смазочный (FPG8601): 1/8 дюйма NPT F (внутренняя нормальная коническая трубная резьба (США)) Подача (VLPC): 1/8 дюйма NPT F (внутренняя нормальная коническая трубная резьба (США)) Управление (VLPC): 1/8 дюйма NPT F (внутренняя нормальная коническая трубная резьба (США)) Вакуум (VLPC): KF25 |
|
Измерение давления |
|
| Полный диапазон | от 0 до 15 кПа избыточного, абсолютного, абсолютного дифференциального давления |
| Воздействие температуры | Температура устройства отслеживается; предусмотрен сигнал тревоги, который срабатывает когда скорость и/или величина изменения температуры влияет на качество работы устройства |
| Разрешение | Стандартный режим: 0,010 Па Режим высокого разрешения: 0,001 Па |
| Типичная погрешность измерения давления | Стандартный режим: избыточный, абсолютный дифференциальный: ± (0,020 Па + 30 миллионных долей от показания) абсолютный: ± (0,025 Па + 30 миллионных долей от показания) Режим высокого разрешения: избыточный, абсолютный дифференциальный: ± (0,005 Па + 30 миллионных долей от показания) абсолютный: ± (0,008 Па + 30 миллионных долей от показания) |
| Типичный остаточный вакуум в абсолютном режиме | С центробежным молекулярным насосом: от 0,04 до 0,1 Па С ротационным пластинчатым насосом: от 0,3 до 0,4 Па |
|
Контроль давления |
|
| Диапазоны регулирования (Па) | Избыточный режим: 5 перекрывающихся диапазонов регулирования Минимальное давление: 0 Минимальное регулируемое давление: 0,1 Па
Абсолютный режим: |
| Точность регулировки | Стандартный режим: избыточный: ± (0,020 Па + 100 миллионных долей от диапазона) абсолютные: ± (0,020 Па + 30 миллионных долей от диапазона)
Режим высокого разрешения: |
| Номинальный измерительный объем | Избыточный режим: до 20 см3/сторона (высокая и низкая) Абсолютный режим: до 500 см3/сторона (высокая и низкая) |
| Типичное время установки давления | от 1 до 2 минут, в зависимости от измерительного объема |
|
Поршневой цилиндр |
|
| Номинальный размер | Диаметр: 35 мм Площадь: 10 см2 |
| Материал поршня | Карбид вольфрама |
| Материал цилиндра | Карбид вольфрама |
| Система крепления | Невращающийся, самоцентрирующийся под действием независимо центрально подаваемого давления смазочного газа |
| Зазор поршневого цилиндра | Симметричный конический зазор, сужающийся в две стороны от 6 микрон в центральной точке смазки до 1 микрона на концах цилиндра |
| Качество смазочного газа | Чистый сухой N2 или воздух; внутреннее кондиционирование до относительной влажности от 40 до 70 % |
| Давление смазочного газа | Избыточный режим: 40 кПа избыточного Абсолютные режимы: 40 кПа абсолютного Поток смазочного газа: в сумме < 1 ст. куб. см в минуту для высокой и низкой камер |
|
Вспомогательные измерения |
|
| Температура поршневого цилиндра (°C) | Диапазон: от 0 до 40 Разрешение: 0,01 Погрешность: ± 0,1 |
| Остаточный вакуум (Па) | Диапазон: от 0 до 13 Разрешение: 0,001 Погрешность: ± (0,5% от показания + 5 мПа) |
|
Контрольные измерения |
|
| Температура смазочного газа (°C) | Диапазон: от 0 до 40 Разрешение: 0,1 Погрешность: ± 0,2 |
| Давление смазочного газа (кПа) | Диапазон: от 0 до 200 абсолютного Разрешение: 0,001 Погрешность: ± 0,1 |
| Влажность смазочного газа (% отн. влажности) | Диапазон: от 5 до 95 Разрешение: 1 Погрешность: ± 10 |
