Прибор 4200A-SCS — это модульный, конфигурируемый в соответствии с задачами заказчика параметрический анализатор, обеспечивающий измерение вольтамперных, фольтфарадных характеристик и ВАХ в импульсном режиме. Дополнительный модуль коммутатора 4200A-CVIV позволяет легко переключать режимы измерения ВАХ/ВФХ без переключения кабелей или перестановки щупов зондовой станции при тестировании кремниевых пластин. Анализатор высочайшей производительности 4200A-SCS ускоряет проведение испытаний сложных устройств для исследования материалов, разработки полупроводниковых устройств, подготовки технологических процессов или производства
| Current-Voltage (I-V) Range | Capacitance-Voltage (C-V) Range | Pulsed I-V Range |
|---|---|---|
| от 0,1 фА до 1 А от 0,2 мкВ до 210 В |
от 1 кГц до 10 МГц | ±40 В (80 В размах), ±800 мА 200 Мегавыборок в секунду, период выборки 5 нс |
Характеристики |
Преимущества |
| Полностью конфигурируемый базовый блок может оснащаться модулями источника-измерителя, модулем ВФХ и сверхбыстрых импульсных измерений ВАХ. | Позволяет измерять параметры ВАХ, комплексное сопротивление переменному току, регистрировать сигналы и измерять ВАХ переходных процессов с необходимой скоростью, четкостью и надежностью. |
| ПО Clarius™ с графическим интерфейсом пользователя, с сенсорным управлением. | Предлагает расширенное описание процедуры тестирования, анализ параметров, построение графиков и автоматизирует выполнение точных объективных измерений с последующим анализом. |
| Встроенное контекстно-зависимое видео об измерениях и более 450 методик измерений. | Скорейшая подготовка к проведению испытаний, помощь при проведении измерений и руководство процессом поиска и устранения неисправностей. |
| Источник-измеритель (SMU) для построения ВАХ. | Модули ±210 В / 100 мА или ±210 В / 1 А, разрешение при измерениях 100 фА или 0,1 фА с дополнительным предусилителем. |
| Модуль измерения ВФХ (CVU). | Измерение комплексного сопротивления переменному току (C-V, C-f, C-t) на частотах от 1 кГц до 10 МГц. |
| Коммутационный блок ВАХ/ВФХ (CVIV). | Простое переключение режимов измерений ВАХ/ВФХ на любом входе без необходимости переключения кабелей или подъёма щупов зондовой станции с тестируемой пластины. |
| Модуль сверхбыстрого измерения ВАХ в импульсном режиме (PMU). | Два независимых или синхронизируемых канала высокоскоростного импульсного источника-измерителя; 200 мегавыборок в секунду, период выборки — 5 нс; расширенная до десятков пикоампер чувствительность по току с дополнительным предусилителем. |
| Модуль генератора высоковольтных импульсов (PGU). | Два канала источника высокоскоростных импульсов напряжения; ±40 В (80 В размах), ±800 мА. |
| Полностью изменяемая конфигурация в соответствии с запросами потребителей и возможностью глубокой модернизации. | Включите в состав прибора только необходимые сегодня модули, остальные добавьте позже. |
