Серия CFI60 L Plan EPI CR включает объективы с корректирующим кольцом, которые обеспечивают возможность наблюдения ЖК-дисплеев с более тонким защитным стеклом и схем с высокой степенью интеграции и плотным расположением элементов. Значение поправки на толщину защитного стекла может плавно варьироваться от 0 до 1,2 мм.
Без коррекции (50Х) С коррекцией 0.7 мм (50Х)
Линза объектива с увеличением 100х имеет высокую числовую апертуру 0,85 и позволяет получать высококонтрастные изображения матриц и шаблонов, исключая влияние защитного стекла. В зависимости от толщины стекла (диапазон коррекции 0-0,7 мм и 0,6-1,3 мм) существуют два вида линз 100х.
Объективы серии CFI Plan EPI CR предназначены для работы в светлом поле.
| Объектив | Числовая апертура NA | Рабочий отрезок WD, мм | Толщина покровного стекла, мм |
| CFI L Plan EPI CR 20X | 0,45 | 10,9-10,0 | 0-1,2мм |
| CFI L Plan EPI CR 50X | 0,7 | 3,9-3,0 | 0-1,2мм |
| CFI L Plan EPI CRA 100X | 0,85 | 1,2-0,85 | 0-0,7мм |
| CFI L Plan EPI CRB 100X | 0,85 | 1,3-0,95 | 0,6-1,3мм |
