Объективы серии CF IC EPI Plan позволяют наблюдать интерференционную картину и проводить точные измерения высоты бесконтактным методом.
Объективы CF IC EPI Plan TI предназначены для интерференции по схеме Майкельсона, а объективы CF IC EPI Plan DI – для двулучевой интерференции по схеме Миро.
| Объектив | Числовая апертура NA | Рабочий отрезок WD, мм |
| CF IC EPI Plan TI 2.5xA | 0.075 | 10.30 |
| CF IC EPI Plan TI 5xA | 0.13 | 9.30 |
| CF IC EPI Plan DI 10xA | 0.30 | 7.40 |
| CF IC EPI Plan DI 20xA | 0.40 | 4.70 |
| CF IC EPI Plan DI 50xA | 0.55 | 3.40 |
| CF IC EPI Plan DI 100x | 0.70 | 2.00 |
