Прибор 4200A-SCS — это модульный, конфигурируемый в соответствии с задачами заказчика параметрический анализатор, обеспечивающий измерение вольтамперных, вольтфарадных характеристик и ВАХ в импульсном режиме. Дополнительный модуль коммутатора 4200A-CVIV позволяет легко переключать режимы измерения ВАХ/ВФХ без переключения кабелей или перестановки щупов зондовой станции при тестировании кремниевых пластин. Анализатор высочайшей производительности 4200A-SCS ускоряет проведение испытаний сложных устройств для исследования материалов, разработки полупроводниковых устройств, подготовки технологических процессов или производства.
Диапазон вольт-амперной характеристики | Диапазон вольт-фарадной характеристики | Диапазон импульсной вольт-амперной характеристики |
---|---|---|
от 0,1 фА до 1 А от 0,2 мкВ до 210 В |
от 1 кГц до 10 МГц | ±40 В (80 В размах), ±800 мА 200 Мегавыборок в секунду, период выборки 5 нс |