Инспекционные микроскопы Nikon ECLIPSE L200N/L200ND
Инспекционные микроскопы Nikon ECLIPSE L200N/L200ND предназначены для изучения и контроля качества интегральных схем. Предшественниками моделей Nikon Eclipse L200N/L200ND являются микроскопы Nikon Eclipse L200/L200D. L200N - Изучение полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм при эпископическом освещении. L200ND - Изучение полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм при эпископическом и диаскопическом освещении.
| ECLIPSE L200N (эпископическое освещение) | ECLIPSE L200ND (эпископическое и диаскопическое освещение) | |
| Корпус | Встроенный источник питания с галогенной лампой 12В-50Вт; Моторизированное управление револьверной головкой, контроль яркости освещения, управление апертурной диафрагмой Револьверная головка: моторизированная универсальная на шесть объективов |
|
| - | Переключение между эпископическим и диаскопическим режимами | |
| Механизм фокусировки | Ход фокусировки: 29 мм Грубая фокусировка: 12,7 мм/об. (регулировка усилия, имеется механизм рефокусировки) Точная фокусировка: 0,1 мм/об. (шаг 1 мкм) |
|
| Эпископический осветитель | Встроенная галогенная лампа 12В-50Вт Моторизированная апертурная диафрагма (с возможностью центровки). Фиксированная диафрагма осветителя микроскопа (с мирой) Направляющая с диафрагмой (поставляется отдельно), четыре фильтра ?25 мм (NCB11, ND16, ND4), с возможностью установки поляризатора и анализатора |
|
| Диаскопический осветитель | - | Встроенная галогенная лампа12В-50Вт Встроенная апертурная диафрагма Встроенный LWD-конденсор |
| Интерфейс | USB x 1, RS232C (для Intensilight) x 1 | |
| Окулярные тубусы | L2-TT2A - наклонный тринокулярный тубус (угол наклона: 0-30°) с прямым изображением и полем зрения 25 мм, коэф.разделения пучка 100:0/20:80 L2-TTA - наклонный тринокулярный тубус (угол наклона: 0-30 °) с прямым изображением и полем зрения 25 мм, коэф.разделения пучка 100:0/0:100 LV-TI3 тринокулярный (с прямым изображением, поле зрения 25 мм) |
|
| Окуляры | Линзы окуляров серии CFI | |
| Объективы | CFI TU Plan Fluor | |
| Предметные столики | Столик L2-S8A 8x8, перемещение: 205 x 205 мм (диапазон диаскопических наблюдений: 150 x 150 мм) Возможность грубого и точного перемещения Контроль перемещения по оси X-Y (с фиксированным положением) |
|
| Антистатический механизм | 1000-10 В, в теч. 0,2 сек | |
| Энергопотребление | 1,2 A/90 Вт | |
| Габариты | Примерно 360 (Ш) x 860 (Д) x 580 (В) мм (при угле наклона 10°) | |
| Вес | Около 45 кг (с использованием предметного столика L2-S8A 8x8 и окулярного тубуса L2-TTA) | |
