• Матричные коммутаторы не ухудшают характеристик анализатора параметров полупроводников
• Поддержка полной конфигурации Кельвина
• 14 внутренних измерительных трактов
• Функция компенсации при измерении емкости
• Светодиодный дисплей, клавиатура или световое перо (по заказу), доступные при управлении с передней панели
• Полоса пропускания 30 МГц
Базовый блок матричных коммутаторов с фемтоамперными токами утечки B2200A и 14-канальный базовый блок матричных коммутаторов с малыми токами утечки B2201A позволяют снизить стоимость параметрических испытаний за счет автоматизации без снижения (B2200A) или с незначительным снижением (B2201A) измерительных характеристик анализаторов параметров полупроводниковых приборов. Оба базовых блока поддерживают полную конфигурацию Кельвина, включающую 4 модуля источника/измерителя (SMU), и измеритель емкости, имея при этом достотаточно места для будущих расширений. Они имеют 14 входов, каждому из которых соответствует свой уникальный внутренний измерительный тракт. Для двух из этих входов может быть использована специальная функция компенсации при измерении емкости. Оба базовых блока обеспечивают управление с передней панели с помощью клавиатуры или светового пера, поставляемого по дополнительному заказу, и поддерживают приборы, такие как генераторы импульсов.
Проблемы производственных испытаний
Проведение всех параметрических измерений, необходимых для многочисленных тестовых структур на полупроводниковой пластине, может оказаться затратным по времени и очень дорогостоящим процессом. Учитывая, что стоимость устройств для конечных пользователей продолжает падать, даже лабораторные системы определения параметров должны снизить стоимость испытаний. Использование матричных коммутаторов с полуавтоматическими или полностью автоматическими установками зондового контроля полупроводниковых пластин позволяет автоматизировать параметрические испытания и исключить необходимость ручной перестановки пробников каждый раз, когда требуется протестировать новый модуль. За счет этого снижается как время испытаний, так и их стоимость. Многие имеющиеся матричные коммутаторы имеют присущие им ограничения. Например, многие матричные коммутаторы ухудшают характеристики анализаторов параметров полупроводников при измерении токов низкого уровня и становятся самым слабым звеном в цепочке измерения. Матричный коммутатор с недостаточным числом внутренних измерительных трактов не сможет поддерживать ни полную конфигурацию Кельвина (4-проводную схему измерения), ни измеритель емкости. Такой коммутатор требует вручную изменять соединения кабелей каждый раз при изменении вида измерения с IV (измерение зависимости тока от напряжения) на CV (измерение зависимости емкости от напряжения) и наоборот. Наконец, если матричный коммутатор при измерении емкости не сможет компенсировать погрешности, связанные с длиной пути, то результат будет неточен.
Характеристики матричных коммутаторов
Оба базовых блока матричных коммутаторов B2200A и B2201A характеризуются исключительно малыми токами утечки и обеспечивают измерение емкости без ограничений, навязываемых альтернативными техническими решениями. Способность поддерживать измерения токов уровня 1 фA (B2200A) или 10 фA (B2201A) означает, что эти матричные коммутаторы не ухудшают высоких рабочих характеристик анализатора параметров полупроводников. Входы поддерживают полную конфигурацию Кельвина, включающую 4 модуля источника/измерителя (SMU). Все 14 входов имеют свой уникальный внутренний измерительный тракт. Поэтому все они могут использоваться одновременно. В отличие от других технических решений, результат измерения емкости не искажается изза отличий в длине пути измерительного тракта каждого канала. Более того, система обеспечивает параметры и алгоритмы, необходимые для компенсации таких отличий. Гибкость обеспечивается модульной структурой, которая поддерживает конфигурации с 12, 24, 36 или 48 выходами. Полоса пропускания 30 МГц поддерживает использование измерительных приборов, таких как генераторы импульсов. Ручное управление с передней панели реализуется с помощью дополнительного светодиодного дисплея, клавиатуры и светового пера, поставляемого по заказу. Модуль коммутации B2210A поддерживается только базовым блоком B2200A, а модуль коммутации B2211A только базовым блоком B2201A.
Базовые блоки матричных коммутаторов B2200A и B2201A
| B2200A | B2201A | |
| Число входных триаксиальных портов IV (с защитой) | 8 | 8 |
| Число входных вспомогательных (AUX) BNC портов | 6 (2 порта CV) | 6 (2 порта CV) |
| Число выходных триаксиальных портов (с защитой) | 12, 24, 36 или 48 | 12, 24, 36 или 48 |
| Число гнезд для модулей коммутации высотой 48 мм | 4 | 4 |
| Максимальный ток | ||
| Порт IV | 1,0 А (B2210A) | 1,0 А (B2211A) |
| Порт AUX | 0,5 А (B2210A) | 0,5 А (B2211A) |
| Макс. напряжение | ||
| Порт IV (относительно другого канала) | 200 В (B2210A) | 200 В (B2211A) |
| Порт IV (относительно корпуса) | 300 В (B2210A) | 300 В (B2211A) |
| Порт AUX (относительно другого канала) | 100 В (B2210A) | 100 В (B2211A) |
| Порт AUX (относительно корпуса) | 100 В (B2210A) | 100 В (B2211A) |
| Развязка между каналами | ||
| Порт IV | 5 х 1014 Ом (B2210A) | 5 х 1013 Ом (B2211A) |
| Порт AUX | 1 х 109 Ом (B2210A) | 1 х 109 Ом (B2211A) |
Базовый блок B2200A не включает никаких модулей коммутации. Пользователь должен сам указать при заказе требуемое количество модулей коммутации B2210A (от 1 до 4). Дополнительные модули коммутации B2210A можно заказать позднее. Базовый блок B2201A не включает никаких модулей коммутации. Пользователь должен сам указать при заказе требуемое количество модулей коммутации B2211A (от 1 до 4). Дополнительные модули коммутации B2211A можно заказать позднее.
